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      硅晶片
      直徑
      雙面拋光
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      150毫米

      添加時間:2017-11-17 17:02 瀏覽 來源:未知


       
      FSM有完整的150毫米晶圓產品。 請見下表之生產級與測試級晶圓之SEMI標準規格。我們將竭誠提供符合您所有需要的晶圓片。
      如果您沒有找到您要的規格, 請與我們聯系, 并與專員討論相關細節。

      直徑 150 +/- 0.5 mm
      種類 / 摻雜物 P/Boron
      晶向 <100>+/- 1º
      等級 測試級
      電阻值 1 – 100 Ω-cm
      鏡像電阻梯度
      金屬 < 5 x E10 原子/ 平方厘米
      厚度 675 +/- 25微米
      厚度變化 <= 10 微米
      整體平整度  
      彎曲度 <= 40 微米
      局部平整度(STIR)
      平整度 1SEMI標準值
      顆粒數 <= 50 @ >= 0.2微米
      拋光 單面拋光或雙面拋光
      蝕刻 單面拋光或雙面拋光
       
      *我們也提供N型晶圓片

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